MOCVD法制备SnO2单晶薄膜的结构和光学性质，2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)-中国聚合物网,论文下载

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MOCVD法制备SnO2单晶薄膜的结构和光学性质

MOCVD法制备SnO2单晶薄膜的结构和光学性质

资料类型：

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关键词：

MOCVD SnO2单晶薄膜蓝宝石衬底

资料大小：

483K

所属学科：

分子表征

来源：

2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)

简介：

用金属有机物化学气相沉积（MOCVD）法在蓝宝石(0001)衬底上制备出高质量的氧化锡（SnO2）单晶薄膜。对制备薄膜的结构和光学性质进行了研究。制备样品具有纯SnO2的四方金红石结构，其外延生长方向为SnO2(100)∥Al2O3(0001)。薄膜均匀、致密，具有很好的取向性和结晶性。透射谱测量结果表明，在可见光区薄膜的绝对透过率达到了90%以上。

作者：

冯先进，马瑾，杨帆，栾彩娜

上传时间：

2008-09-09 17:13:06

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