大气开放式MOCVD 方法制备ZnO 薄膜的气敏特性研究，2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)-中国聚合物网,论文下载

大气开放式MOCVD 方法制备ZnO 薄膜的气敏特性研究

资料类型：

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关键词：

mocvd zno 碳氢化合物气敏

资料大小：

531K

所属学科：

分子表征

来源：

2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)

简介：

利用大气开放式MOCVD在氧化铝基片上沉积ZnO薄膜，研究了沉积工艺参数对薄膜形貌的影响，结果表明基片温度对ZnO薄膜的晶体形貌有显著的影响，在一定的条件下能够沉积出具有高比表面积花瓣片层结构的ZnO薄膜。以酒精蒸气为例，研究了ZnO薄膜对碳氢有机化合物气体的气敏特性，结果表明结晶度高且晶粒细小、比表面积高的薄膜具有较好的气敏特性。

作者：

沈敬亭，张跃

上传时间：

2008-06-20 18:02:26

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