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功能材料在MEMS中的应用及进展

功能材料在MEMS中的应用及进展

资料类型：

PDF文件

关键词：

MEMS 硅材料

资料大小：

78K

所属学科：

分子表征

来源：

2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议（9.12-9.16，北京.秦皇岛）

简介：

以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术，是实现信息采集、处理、执行一体化，使之成为真正的系统。本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求，以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展。

作者：

王灵婕林吉申

上传时间：

2007-07-13 16:27:11

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相关评论 共有1人发表评论

cqs49255454 2012-08-25 19:15:40

不错，好好学习一下！

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