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纳米集成电路用大直径硅及硅基材料研究进展

纳米集成电路用大直径硅及硅基材料研究进展

资料类型：

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关键词：

纳米集成电路大直径硅单晶硅基材料

资料大小：

138K

所属学科：

分子表征

来源：

2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议（9.12-9.16，北京.秦皇岛）

简介：

本文叙述了大直径硅单晶生长、杂质缺陷行为、表面质量控制及硅基材料的研究现状，讨论了应变硅与绝缘体上硅(SOI)相结合的发展趋势，展望了纳米集成电路用大直径硅及硅基材料的技术经济前景。

作者：

屠海令

上传时间：

2007-07-18 14:21:01

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