注硅对SIMOX 材料性能影响的研究，2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)-中国聚合物网,论文下载

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注硅对SIMOX 材料性能影响的研究

注硅对SIMOX 材料性能影响的研究

资料类型：

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关键词：

离子注入 simox 绝缘体上硅总剂量辐射效应

资料大小：

224K

所属学科：

分子表征

来源：

2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)

简介：

首先采用注硅的方法改进SIMOX(注氧隔离)SOI(绝缘体上硅)材料，对硅注入在SIMOX材料的绝缘埋层中形成的纳米硅团簇的条件和纳米团簇的结构进行了论述。并对埋层结构与抗辐射性能的机理进行了分析。最后，对利用注硅改进的SIMOX材料制备的MOSFET的辐射特性进行了报道。

作者：

贺威，张正选，田浩，杨惠，俞文杰，王茹，陈明，王曦

上传时间：

2008-07-31 17:21:48

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