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掺杂ZnO薄膜研究

掺杂ZnO薄膜研究

资料类型：

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关键词：

ZnO薄膜电子束蒸发电学性能 XRD分析

资料大小：

186K

所属学科：

分子表征

来源：

2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议（9.12-9.16，北京.秦皇岛）

简介：

采用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备ZnO薄膜和掺杂ZnO薄膜。通过X射线衍射、台阶仪及Hall效应等测试研究了衬底温度和掺杂对晶体质量和电学性能的影响，发现原位生长的ZnO薄沿c轴择优生长，且掺杂ZnO薄膜具有低达3.02910-4Ωcm的电阻率。

作者：

郝瑞亭刘焕林杨宇

上传时间：

2007-07-18 13:27:23

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相关评论 共有2人发表评论

qicoed 2009-05-09 13:17:33

多谢，内容刚好

f012156 2009-04-16 1:54:49

真是謝謝啦內容有我想要的

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