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基片上薄膜生长过程的计算机模拟  
基片上薄膜生长过程的计算机模拟
资料类型: PDF文件
关键词: 薄膜生长  沉积  计算机模拟  
资料大小: 462K
所属学科: 模拟技术
来源: 来源网络
简介:
根据薄膜的成核统计理论,考虑吸附粒子的碰撞、迁移、蒸发等因素,针对薄膜单层和多层核生长类型的生长,用计算机进行仿真模拟。同时研究了几种因素对粒子沉积成膜的影响。根据计算机模拟情况,得出了粒子百分变化与成团粒子百分变化关系、生长过程对粒子沉积成膜的影响。论证了按成核理论下的随机统计规律生成的多层粒子膜,其厚度方面的不均匀性与实际是一致的。并给出了计算机模拟研究薄膜微观生长过程的立体图象。
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上传时间: 2007-07-09 13:36:59
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相关评论 共有1人发表评论 更多评论
biaofengdebiao    2011-06-23 20:52:04
好,谢谢分享,我先下载一份看看
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