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基片上薄膜生长过程的计算机模拟 |
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资料类型: |
PDF文件
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关键词: |
薄膜生长 沉积 计算机模拟 |
资料大小: |
462K |
所属学科: |
模拟技术 |
来源: |
来源网络 |
简介: |
根据薄膜的成核统计理论,考虑吸附粒子的碰撞、迁移、蒸发等因素,针对薄膜单层和多层核生长类型的生长,用计算机进行仿真模拟。同时研究了几种因素对粒子沉积成膜的影响。根据计算机模拟情况,得出了粒子百分变化与成团粒子百分变化关系、生长过程对粒子沉积成膜的影响。论证了按成核理论下的随机统计规律生成的多层粒子膜,其厚度方面的不均匀性与实际是一致的。并给出了计算机模拟研究薄膜微观生长过程的立体图象。 |
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上传人: |
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上传时间: |
2007-07-09 13:36:59 |
下载次数: |
594 |
消耗积分: |
2
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立即下载: |
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