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电化学沉积CNx薄膜的摩擦性能研究 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
CNx薄膜 电化学沉积 摩擦学性能 |
| 资料大小： |
202K |
| 所属学科： |
性能表征 |
| 来源： |
来源网络 |
| 简介： |
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以单晶硅片（100）为衬底，尿素－甲醇有机溶液为沉积液，用电化学沉积的方法在阴极制备出CNx薄膜。通过AFM、XPS、Raman光谱和FTIR光谱对得到的CNx薄膜的表面形貌和微观结构进行了表征，并在球－盘摩擦试验机上考察了薄膜的干摩擦性能，用SEM和EDS对摩擦表面进行了分析，研究了摩擦机理。结果表明：薄膜表面致密，但粗糙度较大；Raman光谱中出现明显的D峰和G峰，说明薄膜具有无定形的结构特征；薄膜的化学元素组成主要为C，还有少量的N，C、N原子之间主要以共价单键和双键形式结合。CNx薄膜与红宝石球对摩时，摩擦系数随频率的增大而升高，但几乎不随载荷而变化；CNx薄膜在形成转移膜的过程中不仅失去了N，而且发生了石墨化，这与DLC膜的摩擦过程非常相似。 |
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| 上传人： |
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| 上传时间： |
2007-07-13 14:47:48 |
| 下载次数： |
574 |
| 消耗积分： |
2
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