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PVD法制备多晶碘化汞膜的光电特性研究 |
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资料类型: |
PDF文件
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关键词: |
多晶 碘化汞 物理气相沉积 探测器 |
资料大小: |
389K |
所属学科: |
性能表征 |
来源: |
来源网络 |
简介: |
用热壁物理气相沉积法(Hot-WallPVD)制备出晶体质量较好的多晶HgI2膜,研究了生长参数对沉积膜质量的影响,对多晶HgI2膜用金相显微镜、XRD、红外光谱进行了表征观察及对用多晶HgI2膜制备的探测器采用了暗电流测试;结果表明PVD法制备的多晶HgI2膜纯度高,结构完整性好,均匀性好,并且其相应器件有低的暗电流(电场0.2V/μm时,为25pA/mm2)。 |
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上传人: |
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上传时间: |
2007-07-17 15:20:49 |
下载次数: |
574 |
消耗积分: |
2
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立即下载: |
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