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Pt/Au/p-Si 溅射薄膜组织结构特征 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
Pt/Au/p-Si 薄膜 硅化物分布 表面和界面结构 |
| 资料大小： |
112K |
| 所属学科： |
结构表征 |
| 来源： |
来源网络 |
| 简介： |
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在p-Si衬底上，分别淀积5nmAu膜和5nmPt膜，形成Pt/Au/p-Si结构，500℃退火后形成硅化物薄膜。采用X射线光电子谱和X射线衍射谱研究薄膜成分和相分布，利用原子力显微镜和高分辨电子显微镜观察薄膜表面形貌和界面结构。测试结果表明，薄膜中含有PtSi相和Au相，表面较平坦，PtSi相形成层状结构，Au原子聚集成岛状结构。 |
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| 上传人： |
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| 上传时间： |
2007-07-13 15:12:42 |
| 下载次数： |
574 |
| 消耗积分： |
2
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