Si衬底上La0.8Sr0.2MnO3/SrMnO3双层结构研究-中国聚合物网,论文下载

Si衬底上La0.8Sr0.2MnO3/SrMnO3双层结构研究

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关键词：

LSMO薄膜 SMO缓冲层择优取向生长界面扩散

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所属学科：

结构表征

来源：

来源网络

简介：

利用磁控溅射方法在Si(100)衬底上首先生长SrMnO3(SMO)作为缓冲层，再沉积La0.8Sr0.2MnO3(LSMO)薄膜，得到(110)面择优生长的LSMO/SMO双层结构。利用X射线衍射仪分析了SMO缓冲层的结构特征对LSMO薄膜择优取向生长的影响；利用Rutherford背散射(RBS)分析了LSMO/SMO间的界面情况。结果表明：以SMO作为单一缓冲层时，不仅可以实现LSMO薄膜在Si(100)衬底上的（110）面的择优生长，而且LSMO/SMO的界面扩散现象也不明显。

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2007-07-17 11:09:13

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