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离子束溅射BST薄膜的制备及结构分析 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
钛酸锶钡 薄膜 离子束溅射 晶体结构 |
| 资料大小： |
149K |
| 所属学科： |
结构表征 |
| 来源： |
来源网络 |
| 简介： |
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本文采用离子束溅射的方法制备了不同衬底温度下的BST薄膜，用X射线、Raman、SPM等技术对晶体结构及微观形貌进行表征，研究了离子束溅射制备BST的工艺。 |
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| 上传人： |
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| 上传时间： |
2007-07-12 16:20:27 |
| 下载次数： |
592 |
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2
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