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离子束溅射BST薄膜的制备及结构分析  
离子束溅射BST薄膜的制备及结构分析
资料类型: PDF文件
关键词: 钛酸锶钡  薄膜  离子束溅射  晶体结构  
资料大小: 149K
所属学科: 结构表征
来源: 来源网络
简介:
本文采用离子束溅射的方法制备了不同衬底温度下的BST薄膜,用X射线、Raman、SPM等技术对晶体结构及微观形貌进行表征,研究了离子束溅射制备BST的工艺。
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上传时间: 2007-07-12 16:20:27
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相关评论 共有2人发表评论 更多评论
seeker2505    2009-02-23 21:21:14
挺好的,值得看一下
xlyang0211    2008-10-31 15:39:39
还好,不错啦。
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