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SrTiO3衬底上溅射法外延生长PLZT薄膜 |
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资料类型: |
PDF文件
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关键词: |
SrTiO3衬底 PLZT膜 溅射条件 外延生长 |
资料大小: |
163K |
所属学科: |
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来源: |
来源网络 |
简介: |
用射频磁控溅射法在SrTiO3衬底上外延生长PLZT薄膜,研究了不同的溅射工艺对薄膜生长速率的影响,探讨了不同的后期热处理条件与薄膜取向度的关系。在SrTiO3衬底上成功制备出外延生长的、厚度达1.5µm的PLZT薄膜。 |
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上传人: |
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上传时间: |
2007-07-13 14:37:15 |
下载次数: |
6991 |
消耗积分: |
2
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立即下载: |
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583496785 2008-11-19 18:10:14 |
sav dasf sdfv v v |
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