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SrTiO3衬底上溅射法外延生长PLZT薄膜 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
SrTiO3衬底 PLZT膜 溅射条件 外延生长 |
| 资料大小： |
163K |
| 所属学科： |
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| 来源： |
来源网络 |
| 简介： |
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用射频磁控溅射法在SrTiO3衬底上外延生长PLZT薄膜，研究了不同的溅射工艺对薄膜生长速率的影响，探讨了不同的后期热处理条件与薄膜取向度的关系。在SrTiO3衬底上成功制备出外延生长的、厚度达1.5&micro；m的PLZT薄膜。 |
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| 上传人： |
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| 上传时间： |
2007-07-13 14:37:15 |
| 下载次数： |
6991 |
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2
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| 583496785 2008-11-19 18:10:14 |
| sav dasf sdfv v v |
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