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金刚石膜中氮杂质状态的研究 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
EA-CVD方法 金刚石膜 氮杂质 |
| 资料大小： |
124K |
| 所属学科： |
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| 来源： |
来源网络 |
| 简介： |
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用EA-CVD(ElectronassistedChemicalVaporDeposition)方法制备出金刚石膜，并且用拉曼光谱、荧光谱、红外吸收谱和顺磁共振谱研究了金刚石膜中的氮杂质。实验结果表明，用EA-CVD方法制备的金刚石膜中氮杂质主要是以Ns0、Ns+、[N—V]0和[N—V]-1的形式存在，没有检测到在天然金刚石和高温高压金刚石中常见的A和B中心形式存在的氮杂质。沉积实验中随着氢气流量的增加，也就是金刚石膜沉积环境中氮浓度的减少，金刚石膜中氮杂质含量减少。 |
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| 上传人： |
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| 上传时间： |
2007-07-06 13:49:08 |
| 下载次数： |
7040 |
| 消耗积分： |
2
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