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CdIn2O4薄膜性质及其应用研究 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
CdIn2O4薄膜 退火处理 电阻率 气敏性 |
| 资料大小： |
113K |
| 所属学科： |
分子表征 |
| 来源： |
2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议（9.12-9.16，北京.秦皇岛） |
| 简介： |
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利用射频反应溅射法在玻璃衬底上在Ar和O2气氛中从Cd-In合金靶上制备出了CdIn2O4薄膜。实验结果表明退火处理对CdIn2O4薄膜的光电性质有重要的影响。退火处理进一步降低了CdIn2O4膜的电阻率，在可见光区域内该膜的最高光透射率超过了90%。研究还发现CdIn2O4膜电阻在CO气氛中十分敏感的发生变化，并且提高温度和在膜上生长不连续的Pt粒子可进一步增强气敏特性。实验研究还表明CdIn2O4膜气敏传感器响应时间比通用的气敏元件快得多。 |
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| 作者： |
张津
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| 上传时间： |
2007-07-13 14:14:51 |
| 下载次数： |
615 |
| 消耗积分： |
2
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| 立即下载： |
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