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二氧化钒薄膜微结构和光学相变特性 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
薄膜 V O2 脉冲溅射 微结构 光学特性 |
| 资料大小： |
321K |
| 所属学科： |
分子表征 |
| 来源： |
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉) |
| 简介： |
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二氧化钒薄膜是最有前途应用到非制冷红外微测热辐射计的材料。它的特性与制备方法、化学计量比、结构和取向等有直接关系，仔细控制工艺参数是制备应用的VO2薄膜关键。研究中采用脉冲磁控反应溅射方法，通过精确地控制功率、氧分压、基底温度等关键工艺参数，在石英玻璃和硅片上制备VO2薄膜。利用X射线衍射和X射线光电子谱，分析了薄膜的成分、相结构、结晶和价态情况，用原子力显微镜表征了薄膜的微观结构，在光谱仪对VO2薄膜的高低温光学特性原位测量。结果表明，得到的VO2薄膜纯度高、相结构单一、结晶度、多晶生长。在波数2000cm-1高低温透射变化达到51%。 |
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| 作者： |
许 旻，邱家稳，崔敬忠，王洁冰，何延春
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| 上传时间： |
2008-09-10 13:37:09 |
| 下载次数： |
30 |
| 消耗积分： |
2
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