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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
溶胶-凝胶 紫外光直写 杂化 光波导 分束器 |
| 资料大小： |
382K |
| 所属学科： |
分子表征 |
| 来源： |
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉) |
| 简介： |
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利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶(sol-gel)SiO2材料，在预生长了18μm厚的SiO2上包层的硅基片上旋涂成膜。经前烘、紫外曝光、后烘的薄膜在5μm5μm的扫描范围内的表面粗糙度只有0.266nm，表面起伏度只有0.336nm。利用紫外光直写技术，制作出条形波导器件。SEM照片表明波导端面形状较好，侧壁陡直。对14多模干涉型分束器进行初步的通光测试，观察到分光效果较好的近场输出图像。 |
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| 作者： |
王 玥，吴远大，李建光，安俊明，王红杰，张家顺，尹小杰，胡雄伟
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| 上传时间： |
2008-09-09 16:44:31 |
| 下载次数： |
28 |
| 消耗积分： |
2
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