1-3 型压电复合材料电极的制备，2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)-中国聚合物网,论文下载

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1-3 型压电复合材料电极的制备

1-3 型压电复合材料电极的制备

资料类型：

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关键词：

磁控溅射电极导电性能附着力

资料大小：

253K

所属学科：

分子表征

来源：

2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)

简介：

采用磁控溅射工艺以Cu、Ag为靶材在1-3型压电复合材料表面制备电极。研究了两种金属材料的溅射镀膜工艺，系统地分析了溅射功率对金属沉积速率、电极导电性能及附着力的影响。结果表明，两种金属的沉积速率随溅射功率的增加呈线性增加，电极方阻及电阻率均随功率增大而减小，溅射功率为100W时电极的附着力较好。

作者：

万媛媛，李莉，王丽坤，秦雷，魏兵

上传时间：

2008-09-01 11:41:32

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相关评论 共有1人发表评论

liuhsh 2009-02-05 17:33:13

不错。。。。

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