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微电子材料在微塑成形中的尺度效应 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
微塑性成形 微电子材料 尺度效应 流动应力 塑性应变梯度 |
| 资料大小： |
274K |
| 所属学科： |
分子表征 |
| 来源： |
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉) |
| 简介： |
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微电子材料在微机电系统（MEMS）的发展中越来越受到青睐，但是其工艺加工的不足限制了实际应用的步伐。微塑性成形可以成形微电子器件，由于其尺寸微型化，在微塑性成形中存在一个不可避免的“尺度效应”问题，尺度效应表现在材料的流动行为、成形中摩擦效应和实验结果的分散性上。在介绍尺度效应的基础上对其进行了分类，给出了判断标准，并从流动应力、晶粒尺度、摩擦效应和温度效应等方面综述了尺度效应对微塑性成形的影响。由于基于连续介质的传统塑性力学理论无法解释微塑性成形过程中的尺度效应，因此引入了非均匀介质的塑性应变梯度理论并进行了探讨，最后指出了尺度效应的研究发展方向，从而促进微电子材料的开发应用。 |
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| 作者： |
王匀，孙日文，许桢英，张凯，袁国定
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| 上传时间： |
2008-08-26 14:48:20 |
| 下载次数： |
41 |
| 消耗积分： |
2
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| 立即下载： |
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