搜索:  
溅射工艺及底层对SmCo 薄膜磁性能的影响  
溅射工艺及底层对SmCo 薄膜磁性能的影响
资料类型: PDF文件
关键词: 磁控溅射  smco  薄膜  控制变量法  矫顽力  cu  底层  
资料大小: 229K
所属学科: 分子表征
来源: 2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
用多靶射频磁控溅射系统在玻璃基片上制备了SmCo磁性薄膜。并采用控制变量法研究了溅射功率、溅射时间以及溅射气压等工艺参数对薄膜磁性能的影响。结果发现,当磁性层溅射功率为60W,溅射气压为0.5Pa,溅射时间为8min;底层溅射功率为125W,溅射气压为0.5Pa,溅射时间为4min时,薄膜的矫顽力高达2.79105。底层对SmCo薄膜的磁性能也有影响,振动样品磁强计测量结果表明:相比Cr、Ti底层,以Cu作为底层所得到的SmCo薄膜磁性能更好,薄膜矫顽力分别比用Cr、Ti作底层时高出56%,40%。
作者: 张峰,黄致新,王辉,吴斌,杨晓非,程伟明
上传时间: 2008-08-21 15:08:40
下载次数: 39
消耗积分: 2  
立即下载:
1人
1人
1人
友情提示:下载后对该资源进行评论,即可奖励2分。
报告错误:  1.下载无效  2. 资料明显无价值  3. 资料重复存在

相关评论 共有0人发表评论 更多评论
你还没有登录,无法发表评论,请首先 登录 注册
免责声明:本站部分资源由网友推荐,来自互联网,版权属于原版权人,如果不慎侵犯到您的权利,敬请告知,我们会在第一时间撤除。本站中各网友的评论只代表其个人观点,不代表本站同意其观点。
最新上传资料
· 可调的透明导电膜研究进展
· 电子纸显示ITO电极保护层研究及...
· THz量子级联激光器的材料生长和...
· 退火条件对纳米ZnO 电致发红-橙...
· 无机薄膜电致发光器件中绝缘层材...
· 稀土掺杂氮化镓的发光机理、制备...
· p-Si TFT栅绝缘层用SiN薄膜的...
· 不同微观形貌所引起的聚二氧乙撑...
· 具有双掺杂发射层白光OLED器件...
· 新型双向传输型区域规整噻吩嵌段...
· 树枝状8-羟基喹啉锌的合成和荧光...
· 梯度掺杂LiF提高电子注入与传输...
· 喷雾热解法合成球形(Y,Gd)BO3:E...
更多>> 
热点资料
· 剪切增稠液体的制备及其性能表征
· Li4Ti5O12/C 复合负极材料的一...
· 有机光电导电材料PEDOT-PSS薄...
· 多孔吸声材料发展现状与展望
· 相变恒温材料六水氯化钙的研究
· 玻璃纤维增强阻燃PC/ABS 合金性...
· 木质素的结构及其改性研究进展
· 有机太阳能电池ITO 电极的光刻...
· 蓝宝石衬底化学机械抛光的机理研...
· TiO2 介孔光催化剂的制备研究进...
· 固体表面润湿性机理及模型
· 陶瓷坯釉料配方优化系统的设计
· 微晶纤维素的制备及性质研究
更多>> 
相关资料
· Novel Thermal Polymerization ...
· 基于微通道塑料薄膜的换热性能研...
· 非晶组分和基底的协同作用诱导 ...
· 利用聚合物配体交联构筑的自站立...
· 聚合物/半导体有机-无机复合微球...
· 改性金基底对 PLLA 超薄膜冷结...
· 共轭聚合物聚集态结构与性能关系...
更多>>