等离子振动反应室的研究，2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)-中国聚合物网,论文下载

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等离子振动反应室的研究

等离子振动反应室的研究

资料类型：

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关键词：

硅粉提纯振动阴极射频感应

资料大小：

275K

所属学科：

分子表征

来源：

2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)

简介：

通过对振动阴极反应室的研究，针对粉粒与金属阴极接触的问题，提出新的改进设计。采用射频电源感应线圈，振动石英管内部放电的方式进行刻蚀。既有振动阴极反应室的效果，又避免掺入杂质，是一种可行的新反应室设计。

作者：

赵亮，尹盛，王敬义，赵伯芳

上传时间：

2008-05-19 15:41:04

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