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钙钛矿型氧化物SrTiO3 /BaTiO3多层膜的 激光分子束外延生长研究
钙钛矿型氧化物SrTiO3 /BaTiO3多层膜的 激光分子束外延生长研究
资料类型:
PDF文件
关键词:
激光分子束外延
SrTiO3/BaTiO3
多层膜
反射式高能电子衍射
原子力显微镜
资料大小:
155K
所属学科:
分子表征
来源:
2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议(9.12-9.16,北京.秦皇岛)
简介:
用激光分子束外延技术在SrTiO3(001)衬底上外延生长SrTiO3/BaTiO3多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X射线衍射(XRD)对外延薄膜进行了结构分析,结果表明薄膜具有二维生长模式,在基片温度为380~470℃之间生长的薄膜具有原子级光滑,并且具有完全C轴取向。同时运用X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜界面的互扩散,结果表明降低制备薄膜时的基片温度有利于减少互扩散。
作者:
姚海军 李燕 罗佳慧 姜斌 邓宏 蒋书文
上传时间:
2007-07-09 15:15:44
下载次数:
617
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