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溅射沉积法制备金薄膜的结构特性  
溅射沉积法制备金薄膜的结构特性
资料类型: PDF文件
关键词: 表面形貌  正常晶粒生长  反常晶粒生长  LSW理论模型  
资料大小: 241K
所属学科: 结构表征
来源: 来源网络
简介:
在不同的生长阶段Au膜具有不同的表面微结构。随着厚度的增加,薄膜晶粒要经历成核、正常晶粒生长和反常晶粒生长过程,在不同的过程中Au膜呈现出不同的表面形貌。在正常晶粒生长阶段,薄膜晶粒呈柱状生长;随后的反常晶粒生长过程中会出现晶粒吸收现象,使具有较优取向的晶粒越长越大。X射线衍射图(XRD)显示Au膜具有(111)面取向优势。利用LSW理论模型计算并解释了晶粒反常生长过程。
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上传时间: 2007-07-06 14:58:41
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