在纳米制造与有机微电子领域,嵌段共聚物(BCP)自组装是低成本、高精度的“自下而上”纳米图案化核心技术,纳米畴的空间取向直接决定光刻精度、电荷输运、器件光电性能。然而,纳米结构的取向控制——是垂直于基底还是平行于基底——长期以来是一个“要么预先注定,要么难以改变”的难题。传统方法依赖界面化学(基底修饰,热退火…)的静态设计,一旦材料确定,取向便“板上钉钉”;外部场(电场,磁场…)虽能施加影响,但撤去后取向难以恢复原状。尤其对于占主流的无定形微相分离体系(如PS-b-PMMA,聚苯乙烯-嵌段-聚甲基丙烯酸甲酯),由于缺乏液晶那样的各向异性结构单元,实现动态、可逆的取向编程极其困难,难以实现局部区域精准编程,制约了高精度、可重构纳米加工技术的应用。
近日,复旦大学高分子科学系朱亮亮、微电子学院刘显和联合中国科学院长春应用化学化所韩苗苗等人,设计了一种利用光激发诱导聚集(Photoexcitation-induced aggregation, PEIA) 分子 M1 (六羧酸六硫苯)作为界面能量调节器,在非晶嵌段共聚物中实现了纳米结构取向的光控可逆调控。该策略仅通过 365 nm 紫外光光照 M1与无定形嵌段共聚物组成的超分子体系,即可可逆调控无定形嵌段共聚物垂直 / 平行纳米取向,该策略通用适配经典柱状相(Cylinder)PS-b-PMMA(聚苯乙烯-嵌段-聚甲基丙烯酸甲酯)等多类嵌段共聚物,可单基底制备分区双点 / 线纳米图案,同时作为光可编程软模板精准引导导电聚合物PEDOT:PSS (聚(3,4-乙烯二氧噻吩):聚苯乙烯磺酸盐) 定向生长,实现 25 倍跨尺度导电各向异性。
2026年8月7日,相关论文以“Programmable Nanostructural Orientation on Amorphous Phase-Separating Systems” 为题,发表在Angewandte Chemie International Edition 上,论文第一作者为复旦大学高分子科学系博士研究生唐子然。
研究团队以经典 PS-b-PMMA 为模型构建 M1@PS-b-PMMA 超分子体系,调控 M1 与 MMA 单元的摩尔比,优化界面调控性能。溶液态中未经紫外照射时M1 均匀分布两相,薄膜态全域实现柱状纳米相垂直取向;持续紫外光照后M1 发生光诱导聚集并富集 PS 嵌段,界面能失衡驱动纳米嵌段完全转为平行排列;溶液态避光静置可自发复位,取向切换循环可逆。该调控策略兼容 PS-b-PAA、PS-b-PMA、PS-b-P4VP 等多种工业常用无定形嵌段共聚物,具备普适加工潜力。
图1 研究概要A) M1@PS-b-PMMA 分子结构与超分子复合体系构筑路径。B) 光激发诱导聚集(PEIA)及PEIA实现无定形嵌段共聚物纳米取向可编程可逆调控机理示意图。
M1@PS-b-PMMA 通过与两嵌段对应的π-π、氢键作用形成超分子复合物。通过DFT理论计算得出紫外光照引发M1 分子构象改变,分子二面角减小,分子间π-π 堆叠增强并发生聚集,粒径大幅提升。该过程为纯光物理转变,无化学键断裂,辐照前后核磁信号稳定。分子动力学模拟表明,聚集态 M1 的溶剂化程度降低,与PMMA 间的氢键弱化,与PS的π-π作用增强,在 PS、PMMA 嵌段间重新分配。该调控机制通用性强,可适配 PS-b-PAA、PS-b-PMA、PS-b-P4VP等多种无定形嵌段共聚物。
图2 M1@PS-b-PMMA 体系PEIA的溶液行为 A) DMF 溶剂中,不同紫外辐照时长下 M1@PS-b-PMMA 体系的DLS测试结果。B) M1@PS-b-PMMA 的 DMF 溶液TEM图像(标尺:200 nm)。C) 紫外光照 60 s 前后,DMF 中M1@PS-b-PMMA 的发射光谱。D) 持续紫外辐照过程中,M1@PS-b-PMMA 的紫外 - 可见吸收光谱。E) M1 基态(S?)与三线激发态(T?)的理论优化分子构型。F、G) 分子动力学模拟快照:含 DMF 溶剂分子的 M1 单分子分散构象(F)、无定形聚集构象(G)。H) 不同时长下,分散态 / 聚集态 M1 与 DMF 溶剂分子的有效接触位点数量统计。(所有超分子体系M1与MMA单体摩尔比均为1:50)
将 M1 用于调控柱状相 PS-b-PMMA (Cylinder) 薄膜取向。经氧等离子处理的硅基底本身会致使PS-b-PMMA形成平行取向;优化摩尔比M1:MMA=1:50 的复合体系,未光照时全域垂直取向,紫外辐照 3 min 出现混合过渡态,6 min 完全转为平行。GISAXS 与刻蚀减薄测试证明取向贯穿薄膜全厚度。SAXS 排除相体积分数变化的影响。避光静置后,聚集态M1 重新分散,取向可逆复位。薄膜厚度随光照延长略有增加,但对照实验证实取向转变仅由 M1 掺杂与紫外辐照主导,证明 PEIA 效应是实现光可编程取向调控的核心根源。(所有光处理均在溶液态进行,薄膜态均经旋涂、热退火处理。)
图 3 薄膜态 M1@PS-b-PMMA 体系中PEIA调控纳米嵌段取向 A) PEIA 调控 M1@PS-b-PMMA 取向的完整工艺流程示意图。 B) 热退火处理后薄膜的俯视SEM图,分别对应紫外辐照 0 min、3 min、6 min 的 M1@PS-b-PMMA 样品。C、D) 掠入射角 0.15° 下,紫外辐照 0 min(C)与 6 min(D)样品 GISAXS 数据的纵向积分曲线;插图为对应的二维 GISAXS 衍射图谱。E) PS-b-PMMA 与 M1@PS-b-PMMA 复合体系的SAXS曲线。F、G) M1@PS-b-PMMA 经干法刻蚀 0 s、25 s的AFM图像(标尺:200 nm)。H) M1@PS-b-PMMA 薄膜厚度随刻蚀时间变化的拟合曲线。
团队借助 AFM-IR (原子力-红外联用)表征可直观观测M1 在两相的分布:未光照时M1 均匀分散于 PS、PMMA 嵌段,薄膜呈垂直取向;紫外辐照后 M1 大量富集在 PS 嵌段,薄膜转为平行结构。接触角测试结合 Fowkes、Owens–Wendt 方程定量计算界面能:未光照时 ,PS、PMMA 与基底界面能差值小,分别为 10.4、12.6 mJ/m2;辐照后 ,PS 界面能降至 10.0 mJ/m2,PMMA 升至 19.8 mJ/m2,界面能失衡驱动取向转变。高温溶剂退火同样可削弱M1 与 PMMA 的氢键,改变两相内 M1 分布、调控界面能,实现垂直向平行的取向切换。变温核磁证实高温逐步破坏氢键、提升分子迁移能力,光调控避光即可复位,高温溶剂退火为独立调控路径,两套机制互不干扰。
图 4 PEIA介导的纳米嵌段取向调控行为分析 A) 未光照、紫外光照、高温溶剂退火三种薄膜的 AFM 相图与 PMMA/PS/M1 红外特征信号分布映射。B) 纯 PS、PMMA、掺杂 M1 体系与氧等离子处理的基底间界面能数值汇总。C) 不同 M1 掺杂体系的水、二碘甲烷接触角实拍图。D-G) 20–120 ℃升降温全程M1 羧基、PMMA 甲基特征氢变温核磁谱。
密度倍增技术可借助嵌段共聚物细化光刻预图案,突破传统光刻分辨率极限。采用掩膜分步旋涂,可在同一基底分区沉积未光照 / 紫外光照的M1@PS-b-PMMA,退火后分别生成垂直纳米点、平行纳米线有序阵列,实现单衬底双构型纳米图案制备,适配半导体定向自组装光刻工艺。该双取向薄膜可作为光可编程软模板引导 PEDOT:PSS 定向生长:垂直模板形成纵向导电通路,平行模板构筑平面导电网络,导电性能差异高达 25 倍。该策略可为柔性电子、3D-DRAM (三维动态随机存取存储器)存储器件所需垂直柱状纳米结构提供可行制备方案。
图5 光可编程软模板用于局域微观调控的应用展示A) 光可编程软模板实现局域微观结构调控的完整工艺示意图。B) 未紫外辐照区域与紫外辐照区域的 M1@PS-b-PMMA 薄膜俯视扫描电镜图,实现 6 倍线条密度倍增(标尺:100 nm)。C) PEDOT:PSS 化学结构式及其旋涂于模板并干燥后的薄膜结构示意图。D) 垂直、平行两种软模板的AFM高度形貌图。E) 垂直 / 平行软模板对应的截面高度轮廓曲线。F) 经热退火、模板诱导生长后,PEDOT:PSS 薄膜在两类模板上的界面结构分析示意图。G) PEDOT:PSS 薄膜在垂直、平行模板上的主导电荷传输方向示意图。H) 垂直、平行模板诱导制备的 PEDOT:PSS 薄膜导电原子力显微镜(conductive AFM)显微成像图。I) 基于两种软模板制备的 PEDOT:PSS 薄膜电流 - 电压(I-V)特征曲线。
综上所述,本工作提出光激发诱导聚集(PEIA)策略,通过界面能调节剂M1 可逆调控无定形嵌段共聚物两相分布与界面能,实现纳米嵌段垂直 / 平行双向切换。该方法普适多种嵌段共聚物,可单基底制备双线 / 点纳米图案;用作软模板引导导电聚合物定向生长,实现 25 倍电导率差异。这种对界面不对称性进行时空维度可控的编码与解调控制,为自适应纳米图形化、可重构纳米制造以及微纳电子器件的功能集成提供了新的解决方案。
论文链接:https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/anie.8511383
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