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Inorganic Polymer Derived Ceramics and Their Applications  
Inorganic Polymer Derived Ceramics and Their Applications
资料类型: Word文件
关键词: Inorganic  Polymer  Derived  Ceramics  Their  Applications  
资料大小: 2706K
所属学科: 分子表征
来源: 2006第四届东亚高分子会(5.8-5.11,天津)
简介:
Recently,manyreportshaveshownorganicpolymerstobewidelyutilizedforfinepatterninginthesemiconductorindustryandinthecreationofhigh-valueddiversemicrostructuressuchasphotoniccrystals,biochips,micro/nanofluidicdevices,andnano/micro-electromechanicalsystems(N/MEMS).
作者: Dong-Pyo Kim*
上传时间: 2007-08-24 17:33:39
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