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非制冷红外探测器用BST薄膜的制备与性能研究 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
BST薄膜 射频溅射 低温沉积 红外探测器 |
| 资料大小： |
280K |
| 所属学科： |
性能表征 |
| 来源： |
来源网络 |
| 简介： |
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利用传统陶瓷工艺制备出BST（65/35）倒筒靶，采用射频溅射法沉积薄膜。开展了对Pt/Ti/SiO2/Si基底热处理工艺与BST同质缓冲层研究，总结出了可以确保基底界面性能良好、BST薄膜结构致密的工艺方法。介电性能测试表明：BST薄膜的介电常数约为60~70，介电损耗为1.5%~2.5%，居里温度为284K，介电温度系数（TCD）为0.5%。漏电流测试表明：在1MV/cm电场下，漏电流密度为1.910-6A/cm2。 |
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| 上传人： |
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| 上传时间： |
2007-07-12 17:35:25 |
| 下载次数： |
577 |
| 消耗积分： |
2
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| 立即下载： |
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