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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
超低介电常数 “三明治” 电纺 聚酰亚胺 多面体低聚倍半硅氧烷 |
| 资料大小： |
418K |
| 所属学科： |
分子表征 |
| 来源： |
2011年全国高分子学术论文报告会（2011.9.24~28，大连） |
| 简介： |
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为满足超大规模集成电路尺寸的逐渐缩小对超低介电常数材料的需求，本文利用静电纺丝技术和特殊的热处理工艺制备了具有“三明治”结构的超低介电膜，并引入多面体低聚倍半硅氧烷（POSS）以进一步降低其介电常数。 |
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| 作者： |
杨扬，赵超越，陈桥，吴刚
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| 上传时间： |
2012-03-01 14:12:58 |
| 下载次数： |
1 |
| 消耗积分： |
4
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