非传统微纳制备技术在驻极体研究中的应用，2010年两岸三地高分子液晶态与超分子有序结构学术研讨会论文集（2010.8.23~26，郑州）-中国聚合物网,论文下载

非传统微纳制备技术在驻极体研究中的应用

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分子表征

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简介：

非传统微纳制备技术主要是指软刻蚀及其衍生的技术，与目前在微制造领域广泛使用的光刻蚀技术相比,软刻蚀的优势主要集中在过程简单，成本低，可以有效提高微制作的效率，并且能够实现平面和曲面上的微/纳米图案(1,2,3维)的微图形转移和微制造等方面。

作者：

曹廷炳*，薛面起，赵丹，马欣蕾

上传时间：

2011-01-18 14:07:14

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