美刊公布纳米微型产品制作工艺流程
2008-08-06 来源：中国聚合物网
关键词：
9、无尘室外的曝光机系统
这是无尘室外的曝光机系统，现在仅仅作为实验室备用设备。
10、梅森教授准备进入曝光机无尘室
梅森教授和工作人员赵坤戴上手套，正准备进入曝光机无尘室。灰尘等颗粒一旦进入无尘室，可能会破坏硅片上曝光的纳米字母或微型产品的形状。
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（责任编辑：龙翔）
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