2008年6月3日，中科院计划财务局在理化所组织了《BioMEMS基片快速成型系统的研制》项目的验收。该项目是由高云华研究员负责承担的中国科学院科研装备研制项目，专家组听取了研制工作报告、测试报告和财务报告，现场查看了仪器设备，查阅了相关技术文件后一致认为，该设备集成汞灯光源光纤传导系统，MEMS微反射镜阵列数字化成像技术和微平移技术，实现了无掩膜光刻，完成了基于新原理的设备研制，具有创新性和进一步深入研究升级改造的价值。仪器的各项指标均达到了研制合同的验收指标要求，部分指标优于合同的验收指标，纳米生物集成技术研究组圆满完成了项目任务规定的全部研究内容。

 

    2005年12月理化所承担中国科学院科研装备研制项目《BioMEMS基片快速成型系统的研制》，所领导和相关部门给予高度重视和积极配合，使项目顺利按期完成。该项目是理化所在微器件研究平台建设中的一个重要环节。在原有工作基础上经过科学家们两年多的艰苦努力，取得了突破性的进展。