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中国矿大许程教授和纳米能源所王中林院士《ACS AMI》:氧空位和阳离子价态对亚化学计量比氧化物薄膜的摩擦电特性的影响
2021-07-30 来源:中国聚合物网 点击
关键词:薄膜

2600TENG


ACS Applied Materials & InterfacesEffects of Oxygen Vacancies and Cation Valence States on the Triboelectric Property of Substoichiometric Oxide FilmsDOI: 10.1021/acsami.1c09248退退TiO2-x退Ti3 Ti4 Ar/H2退使退使Al2O3-x, Ta2O5-xCr2O3-x使退IMTENGs退IMTENGs


1 20 sccmTiO2-x (a) (b) XRD (c) (d-e) Ti2pO1sXPS (f) 退



2 80 sccmTiO2-x (a)退 (b) Ti2pXPS (c) (d) 退


3 Al2O3-x (a) (b) XRD (c) (c-d) Al2pO1sXPS (e) 5 sccm (f) 20 sccm


4 Ta2O5-xCr2O3-x (a) 退Ta2O5-xXRD (b) 退Ta2O5-xTa4fXPS (c) Ta2O5-x (d) Cr2O3-x退XRD (e) Cr2O3-xCr2pXPS (f) Cr2O3-x


5 TiO2-xIM-TENGs (a) IM-TENGs (b-c) 退573 K退TiO2-xIM-TENGVOCQSC (d-e) 573 K退TiO2-xIM-TENGVOCQSC (f) IM-TENGsVOC


6 退 (a-c) 退 (d-f) T1退 (g-i) T2退T1<T2


https://pubs.acs.org/doi/full/10.1021/acsami.1c09248

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