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中科院微电子所8批共3600万元仪器采购大单一览
2011-7-5 来源:中国科学院
关键词:仪器采购

  2010年年末开始,中国科学院微电子研究所2011年仪器设备采购项目启动,至今已采购仪器8批,采购金额约560万美元,折合人民币约为3600余万。以下是采购清单详情:

 

包号
仪器名称
台数
价格
中标公司
招标编号:OITC-G11032168                  招标日期:2011.7.1
1
电子束曝光机
1
 
招标中
招标编号:OITC-G11032126                  招标日期:2011.5.24
1
全定制版图设计系统及混合信号IC设计平台
1
10万美元
北京微通益友电子科技有限公司
2
光谱椭偏仪
1
14.39万美元
HORIBA JOBIN YVON SAS
招标编号:OITC-G11032111                  招标日期:2011.5.5
1
膜厚仪
1
9.5万美元
HORIBA JOBIN YVON S.A.S
2
光刻胶涂覆机
1
15.1万美元
Pico Track
3
噪声分析仪
1
28.369万美元
天地华宇(香港)国际贸易有限公司
4
信号发生器
1
 
频谱分析仪
1
招标编号:OITC-G11032080                  招标日期:2011.4.12
1
尾气处理系统
4
30.7万美元
埃地沃兹贸易(上海)有限公司
2
特种气体柜
1
13.65万美元
上海正帆半导体设备有限公司
3
激光钻孔机
1
42万美元
美国ESI公司
4
二次元影像量测仪
1
13.57万美元
北京新卓仪器有限公司
 
误码仪
1
28万美元
百盛通公司
 
微探针台
1
11.3425万美元
美国奥泰公司
招标编号:OITC-G11032058                  招标日期:2011.3.23
1
金属栅溅射台
1
116.6万美元
INFOVION 株式会社
2
真空干泵
30
34.5万美元
埃地沃兹贸易(上海)有限公司
3
介质化学气相淀积系统改造
1
 
未知
4
4寸化学机械抛光机
1
10.6万美元
南京冉锐科技有限公司
招标编号:OITC-G11032057                  招标日期:2011.3.15
1
近场光学显微镜
1
23.83万美元
上海纳腾仪器有限公司
2
激光共聚焦扫描显微镜
1
13.5万美元
锐科系统集成有限公司
招标编号:OITC-G11032015                  招标日期:2011.1.7
1
半导体存储性能测试探针台系统
1
24.719万美元
Alltek Company USA, Inc
2
表面粗糙度仪
1
9.65万美元
上海海江纳米科技有限公司
招标编号: OITC-G11032006                 招标日期:2010.12.26
1
超高真空化学气相沉积
1
——
废标
2
宽光谱椭偏仪
1
——
废标
3
系统级及纳米级IC设计软件平台
1
100万美金
奥肯思(北京)科技有限公司
4
国产EDA工具
4
100万人民币
北京华大九天软件有限公司
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(小徐)
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