微梁免疫传感技术是在原子力显微镜和微机电系统基础上发展起来的一项新兴传感技术，具有检测灵敏度高、无需标记、能实时原位再现生化反应过程等优点。本文针对单梁传感系统中存在的环境扰动和不能多通道检测等问题进行改进，设计制作了一种基于压电扫描的新型微梁阵列免疫传感器。利用商品化微梁阵列对传感器进行了温度测试实验，所得信号曲线稳定一致，且检测灵敏度达到2nm，实验结果验证了该微梁阵列传感系统的检测可行性，为微梁阵列生化检测的实现提供了一种新的方案。