writer：薛长国，张广平，张青川，伍小平
keywords：微机械系统,微悬臂梁阵列,生化传感器,设计与实现
source：期刊
specific source：实验力学，2011，26
Issue time：2011年
微悬臂梁传感技术是微纳传感技术研究的热点,仪器装置的研究也从单悬臂梁向微梁阵列的方向发展。本文针对间距为250微米的商品化微梁阵列，提出了一种实现对其弯曲变形的读出系统光路。利用高精度位移平台调节激光器空间位置，使光束实现微距离上平行，并分别照射在阵列梁的相邻微梁上,用位置敏感探测器对两个微悬臂梁尖端反射的激光信号进行检测，实现系统传感功能功能。实验验证该光路设计简单易行，针对这一方案实现了两个微梁的信号分离。在微梁上修饰对应的抗体，系统就可以对其抗原行检测。该方案对微梁多阵列传感器研制开发提出了一个新的思路