发明/申请人：孔令斌, 孙林林, 康龙.
专利号/申请号：ZL200910021718.8
授权/申请日期：2012-11-7
用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法，其步骤为：首先在750～800℃沉积温度下在容器内的沉积位置处放入基片；用真空泵将容器中的空气抽出，使容器内达到高真空，即1-7～10-8Pa的真空状态；向容器内通入惰性保护气体，用质量流量计控制惰性保护气体的流量为70～80mL/s；向容器内通入还原气体，用质量流量计控制气体流量为70～80mL/s；然后向容器内通入烃类混合气体，用质量流量计控制气体流量为50～80mL/s；将容器加热，加热到900～1000℃时进行保温，时间持续1～2小时，混合烃类气体的还原反应使得基底上沉积出多孔碳，即得多孔碳薄膜材料。