writer：何泳成*，肖松文，王广源，金大鹏，张玉亮，吴煊，薛康佳，朱鹏，王林，左太森，程贺
keywords：VSANS, 运动控制
source：期刊
specific source：核技术，2022， 8,18-24（cover paper）
Issue time：2022年

微小角中子散射（Very Small Angle Neutron Scattering，VSANS）谱仪是结构校准的有力工具。为了保证

中国散裂中子源（China Spallation Neutron Source，CSNS）VSANS谱仪的运动部件满足重复定位精度优于±2 μm

的要求，设计了基于实验物理及工业控制系统（Experimental Physics and Industrial Control System，EPICS）软件

架构的运动控制系统方案，并搭建了相应的运动控制系统样机。该样机使用步进电机、绝对式光栅和Beckhoff

嵌入式控制器，实现了对平移台位置的全闭环控制。测试结果表明：该样机的重复定位精度优于±2 μm，且具有

稳定可靠性高的特点，很好地满足了CSNS VSANS谱仪的需要。